最早出现自隋文帝开皇二年（公元582年）始设，改检校御史为监察御史。
到了唐代，御史台分为三院，监察御史属察院，品秩不高而权限广，宋元明清因之也设有此职。
明清废御史台设都察院，通常弹劾与建言，设都御史、副都御史、监察御史。
监察御史分道负责，因而分别冠以某某道地名。
《新唐书·百官志三》：“监察御史十五人，正八品下。掌分察百僚，巡按州县，狱讼、军戎、祭祀、营作、太府出纳皆莅焉；知朝堂左右厢及百司纲目。”
然品级仅正八品下，无出入朝堂正门的资格，只能由侧门进出，非奏事不得至殿廷。开元初才取消限制。但因内外官吏均受其监察，权限甚广，颇为百官忌惮。员额，唐为十五人。
宋减为六人，分察六部百司，品级为从七品。明改御史台为都察院，以都御史、副都御史为主官，所属监察御史分道负责，各冠以地方名称，各道人数不等，总数一百一十人，均为正七品官。
清同明制，乾隆十七年提升为从五品官。
监察御史掌管监察百官、巡视郡县、纠正刑狱、肃整朝仪等事务。唐、宋两代仅有八品官，明代初为正九品，洪武十七年升正七品，清代初为正七品，乾隆十七年提升为从五品。
都察院外派地方出巡盐务的监察御史称为巡盐御史、出巡漕运的监察御史称为巡漕御史、出巡农务的监察御史称为巡农御史、出巡边防的监察御史称为巡关御史、出巡茶法的监察御史称为巡茶御史、出巡治安的监察御史称为巡城御史、出巡长江的监察御史称为巡江御史、出巡屯田的监察御史称为巡田御史、出巡仓场的监察御史称为巡仓御史。
十三个省中，每省均有7至11名监察御史，监督不同地方的不同领域，品秩均为正七品，全国共有110名监察御史，称为十三道监察御史。
御史之权为监督，然处事若有差失，惩办也极严厉。据《世法录》记载，洪武十五年（公元1382年）五月，御史雷励误把良民判为徒罪。明太祖查获其事，责之曰：“朝廷能使顽恶慑伏，良善得所者在法耳。少有偏重，民无所守。尔为御史，执法不平，何以激浊扬清，伸理冤枉？徒罪尚可改正，若死罪论决，可以再生乎？”并命法司论雷励之罪，以示警戒。就连书写失误，也被认为不称职而一例治罪。
据《梦余录》记载，宣德间，御史谢瑶在荐举文牍上误书被荐者姓氏，奏书上呈后，又自陈改正。宣宗谓吏部曰：“古人奏牍皆存敬慎，石庆书‘马’字缺点，惧及死。今荐贤不知其姓，岂能知其才？轻率如此，岂称御史之职？”便把谢瑶贬为交址大蛮县知县。
宣德十年（公元1435年），宣宗又特谕都察院：“朝廷设风宪，所以重耳目之寄，严纪纲之任。近年以来，未尽得人，妄逞威福，是非倒置，风纪废弛，令吏部：今后，初仕者不许铨除风宪。凡监察御史有缺，令都察院