当然,公司之间的商业会谈,说简单,就简单,说复杂,就很复杂…。但是,对大深市芯片产业有限公司来说,是非常简单,在保证芯片存储质量的前提之下,价格下调20%,即8美金。谁家存储芯片价格便宜,就有资格成为供应商…
而对芯片制造商来说,是非常复杂,要想成为大深市芯片产业有限公司存储芯片供应商,不光是在价格上,还要与对手竞争…。
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与全球5大存储芯片制造公司周旋的同时,李飞注册浸没式光刻机技术,也发表3篇论文,关于目前光刻机的技术难点,作出具体分析,以及应对解决方案…
随着芯片的技术发展,其芯片的功能越来越多,而芯片集成的晶体管就越来越多,芯片面积的要求,也越来越小,那么,意味着芯片制程就就越来越高,
大深市芯片产业有限公司,作为一家芯片设计公司,是十分关注芯片制程的问题,从1996年,公司研发出500nmfm芯片,再到1999年,研发出手机芯片,就越来意识到芯片制程是非常重要…,
希望目前芯片制程能力,做到65纳米,45nm,甚至是28nm以下…。
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众所周知,要想提高芯片制程的能力,光刻技术就特别重要了,就需要每年把光刻机的曝光关键尺寸(cd)降低30%-50%。根据公式:a),降低波长λ,提高镜头的数值孔径na,降低综合因素k1。
以目前的光刻机技术,直接降低波长λ,是最直接的办法,为了降低光源的波长,全球光刻机厂商都投入巨资,研发下一代光刻机光源技术,
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根据目前全球的光刻机技术,其中,尼康投入巨资研发出波长更低的157nmf2准分子激光做为光源,但是,被现有193nm机器用的镜片吸收,造成分辨率等问题,并且,光刻胶也要重新研制,所以改造难度极大,而对193nm的波长进步只有不到25%,研发投入产出之间的比例,是非常之低…
可以说,变动时非常大的。基本从目前193nm光刻技术上推倒重来。
还有就是,由米国组织的euv联盟,而这个联盟是由英特尔,amd,摩托罗拉,asml,英飞凌等企业组成,正在验证了euv光刻机的可行性…。
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相对以上的两种光刻机技术方案,都不是最优的,特别是euv联盟,所主导的euv光刻机方案,以目前的技术是非常难以实现,并且,是需要巨额的资金,没有一家公司能承受…。