前提条件是注册浸没式光刻技术专利,再拿出浸没式光刻技术,控股尼康公司?
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不过,李飞一想,这样的是不是便宜了尼康公司…
可是又转念,将来大深市芯片产业有限公司研发光刻机,是需要大量的专利,而这些专利技术掌握在尼康和asml手里,
如果要想造光刻机,是绕不开尼康和asml,这两家公司在光刻机布下的专利。
把浸没式光刻技术专利授权给尼康,是一个比较现的情况。
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另外,光刻机技术真是太复杂了…,并且,每一个零件都是精密的…。
光刻机真的是复杂…
如果说现在拿出浸没式光刻技术,并获得尼康公司,或者asml的股份,并且,在光刻技术上,有大深市芯片产业有限公司的专利,
这样的话,就不用担心芯片制造的问题,因为大深市芯片产业有限公司,与尼康公司,或者说asml公司已经是在商业技术上捆绑在一起…。
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同时,需要说明的是,浸没式光刻技术是林本坚在2002年发明的,其技术原理就是,利用光通过液体介质后光源波长缩短来提高分辨率,其缩短的倍率即为液体介质的折射率,
因为沉浸式光刻技术是在传统的光刻技术中,其镜头与光刻胶之间的介质是空气,而浸入式技术是将空气介质换成液体。
这样的话,就称为193nm浸入式光刻技术,因为之前,都是采用,采用的是193nm干式光刻技术,但在65纳米技术节点上遇到了困难,试验了很多技术(如157nm干式光刻技术等)但都无法很好的突破这一难题。
2002年底浸入式技术迅速成为光刻技术,才解决了以上的技术难点…。
不过,需要说明的是,自从asml使用了浸没式光刻技术,其光刻机迅速地占领全球80%市场,而尼康光刻机从此没落…。