ASML则不同。
它是模块化组装,镜头是蔡司的,控制器买菲利普的,最后一组装就完成了,研发精力更集中在精度上。
更重要的是……
ASML抓住了一次飞跃节点。
在02年前,光刻机的龙头企业,一直是尼康和佳能。
在这之前,芯片制程卡在了157纳米关卡。
影响制程的关键,就是【微影】
简单说,就是如何缩短光束波长,来精准的定位线路。
业界一直采用的都是以【空气】为媒介,所有同行冥思苦想,都在这上面打圈圈,试图进一步提升。
但……
一个叫【林奔剑】的人,却横空出世,异想天开的提出一个大胆,甚至说是疯狂的想法,用【水】来替代【空气】做媒介。
为什么说是大胆呢?
当时几家光刻机厂商为研发【干式】光刻机,砸入重金,仅仅ASML就投入了7亿美金。
2000年,7亿美金足够买一条晶圆生产线。
你林奔剑提出【湿式】光刻机,那不是意味着大家走弯路,7亿美金都打水漂了吗?
但台机电的副总裁姜尚义,却坚持下来。